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半導體廢氣處理解決方案
    發布時間: 2017-05-24 11:40    

化工廢氣是指在化工生產中由化工廠排出的有毒有害的氣體?;し掀形廴疚鎦擲嗪芏?,物理和化學性質復雜,毒性也不盡相同,嚴重污染環境和影響人體健康。不同化工生產行業產生的化工廢氣成分差別很大。如氯堿行業產生的廢氣中主要含有氯氣、氯化氫、氯乙烯、汞、乙炔等,氮肥行業產生的廢氣中主要含有氮氧化物、尿素粉塵、一氧化碳、氨氣、二氧化硫、甲烷等。


半導體廢氣處理介紹
化工廢氣是指在化工生產中由化工廠排出的有毒有害的氣體?;し掀形廴疚鎦擲嗪芏?,物理和化學性質復雜,毒性也不盡相同,嚴重污染環境和影響人體健康。不同化工生產行業產生的化工廢氣成分差別很大。如氯堿行業產生的廢氣中主要含有氯氣、氯化氫、氯乙烯、汞、乙炔等,氮肥行業產生的廢氣中主要含有氮氧化物、尿素粉塵、一氧化碳、氨氣、二氧化硫、甲烷等。半導體制造工藝業需要多種特殊氣體,大量的酸、堿等化學品以及有機溶劑和揮發性液體等,這些氣體和化學品在半導體制造的不同工藝中使用,產生的廢氣通過排風系統收集并處理,如果沒有經過很好的處理就進行排放的話,不僅影響人的身體健康還惡化大氣環境。

原理介紹
吸附法的應用廣泛 ,具有能耗低、工藝成熟、去除率高、凈化徹底、易于推廣的優點,有很好的環境和經濟效益,利用組分在吸收劑中的溶解度不同(物理吸收)或與吸附劑發生化學性反應(化學吸附)。

  
解決方案
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